Page 56 -
P. 56

โครงการหนังสืออิเล็กทรอนิกส์ เฉลิมพระเกียรติสมเด็จพระเทพรัตนราชสุดาฯ สยามบรมราชกุมารี
 copy right    copy right    copy right    copy right    copy right
 copy right    copy right    copy right    copy right    copy right    copy right
 copy right    copy right    copy right    copy right
                   44


                   การวัด OD พบวามีความแปรปรวน เนื่องจากความหนาของอะลูมิเนียมไมสม่ําเสมอและการวัดแสง

                   สองผานตัวอยางใชพื้นที่ขนาดเล็ก ตอมาจึงมีการใชวัดความตานทานไฟฟาของวัสดุ ความหนาของ
                   อะลูมิเนียมจะแปรผกผันกับคาความตานทานไฟฟา การวัดคาความตานทานไฟฟาของวัสดุ นิยมใช
     copy right    copy right    copy right    copy right    copy right    copy right
                   ตัวอยางเปนสี่เหลี่ยมจัตุรัส คาที่วัดไดจะมีคาเทากันไมวาจะใชตัวอยางขนาด 0.1 หรือ 1 ตารางเมตร

                   ตัวอยางความสัมพันธระหวางความหนาของอะลูมิเนียมกับคาตางๆ ที่นิยมตรวจวัดแทนความหนา

                   ดังแสดงในตารางที่ 2-4

                   ตารางที่ 2-4 ตัวอยางความสัมพันธระหวางความหนาของอะลูมิเนียมกับคาตางๆ ที่นิยมใชแทน

                         Thickness          Optical density       % Transmission      Electrical resistance

                        (Angstrom)                                                    (ohms/square area)
                            50.8                 1.10                  7.94                   5.35

                            63.5                 1.20                  6.31                   4.56
                            71.1                 1.30                  5.01                   3.98

                            81.3                 1.40                  3.98                   3.50
                            84.0                 1.50                  3.16                   3.32

                            98.5                 1.60                  2.51                   3.06
                           101.6                 1.70                  2.00                   2.86

                           106.7                 1.80                  1.59                   2.68
                           114.3                 1.90                  1.26                   2.50

                           121.9                 2.00                  1.00                   2.35
                           127.0                 2.10                  0.79                   2.20
                   ที่มา: Soroka (2002)
                                           copy right       copy right    copy right    copy right


                        copy right    copy right    copy right    copy right    copy right    copy right

                   6.1.2  การอาบไอโลหะดวยวิธีสปตเตอร (Sputtering)

                   การอาบไอโลหะดวยวิธีสปตเตอรมีคุณภาพดีกวาวิธีการระเหยภายใตสุญญากาศ เนื่องจากไอโลหะ

                   เกาะติดบนวัสดุแนนกวา การทําใหโลหะกลายเปนไอจะใชกาซพลาสมา (Plasma gas) แทนการใช
                   ความรอน กาซพลาสมาที่นิยมใช ไดแก กาซอารกอนที่ผานเขาไปสนามไฟฟาแรงสูงจนแตกตัวเปน
                   ไอออน (Ionized argon) แลววิ่งเขาชนกระแทกโลหะ (Target) ทําใหอะตอมโลหะหลุดออกมาใน


                   สภาพกาซแลวไปเกาะบนผิววัสดุ (Substrate) ดังแสดงในภาพที่ 2-8


                   วัสดุอาบไออะลูมิเนียมมีใชมานานตั้งแตราวป 1970 จนถึงปจจุบัน และใชมากในอุตสาหกรรมการ

                   บรรจุ ตอมามีการนําซิลิกาออกไซด (SiO 2 และ Si 2O 3) มาใชแทนอะลูมิเนียม เนื่องจากฟลมอาบไอ
                   อะลูมิเนียมมีขอดอย 2 ประการที่ทําใหเปนขอจํากัดในการใชงานทางการบรรจุ คือ






                                                              copy right    copy right    copy right    copy right
   51   52   53   54   55   56   57   58   59   60   61